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激光干涉仪主要用于哪些方面？
所属分类：显微镜百科 点击次数：899 发布日期：2019-03-24
主要应用于检测高精度加工表面的形貌误差，检测精度及主要技术指标达到了国际水平。
光学加工的镜片检测、半导体工业中的晶片检测、大平板显示中的平面检测、数据存储、MEMS/NEMS工业中光滑元件表面检测、纳米薄材料检测、LED芯片制备等生产现场,都需要用到干涉仪器。
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